Wysoce precyzyjne cylindryczne silniki cewki drgającej 44N do sprzętu półprzewodnikowego

Przegląd produktu

VCAR0044-0075-00A to cylindryczny silnik z cewką drgającą zaprojektowany specjalnie w celu osiągnięcia wysokiej dokładności pozycjonowania. Ten silnik cewki drgającej, zasilany napięciem stałym 16,8 V, zapewnia bezpośredni ruch liniowy z maksymalnym naciskiem 44 N przy skoku 7,5 mm i osiąga rozdzielczość pozycjonowania 0,5 µm przy sterowaniu w pętli zamkniętej z enkoderem liniowym.
Bezkontaktowa konstrukcja z ruchomą cewką eliminuje luzy, zaczepy i histerezę, umożliwiając silnikowi utrzymanie swojej pozycji i wielokrotny powrót do tego samego miejsca. Krótka, sztywna ścieżka ruchu i niewielka ruchoma masa zapewniają systemowi dużą przepustowość mechaniczną, pomagając pętli serwa tłumić zakłócenia i szybko się stabilizować.
Ten silnik z cewką drgającą jest produkowany przy użyciu precyzyjnie szlifowanych komponentów i zrównoważonego obwodu magnetycznego, aby utrzymać niskie tętnienie siły. Precyzyjnie szlifowane powierzchnie szyn prowadzących i dopasowane magnesy utrzymują tętnienie siły poniżej 1% znamionowej wartości wyjściowej przez cały skok. Jest to idealny komponent do ustawiania, kontroli lub sprzętu pomiarowego na poziomie mikrometru.

Rozwiązanie

Błędy pozycjonowania w sprzęcie precyzyjnym zwykle wynikają z luzów, tarcia typu stick-slip, dryfu termicznego i rezonansu mechanicznego. Silniki z cewką drgającą całkowicie eliminują dwa pierwsze źródła błędów: nie ma przekładni ani śrub pociągowych powodujących luz, a bezkontaktowa konstrukcja cewki oznacza, że ​​nie ma tarcia statycznego do pokonania. Pozostałe błędy są kontrolowane przez system w pętli zamkniętej, który zawiera enkoder liniowy o wysokiej rozdzielczości, który zapewnia bezpośrednią informację zwrotną na temat rzeczywistego położenia obciążenia.
Ponieważ siła jest proporcjonalna do prądu, serwomechanizm może precyzyjnie przyłożyć dokładnie taką ilość siły, aby uzyskać ruchy krokowe co 0,5 mikrometra lub utrzymać stabilną pozycję pod obciążeniem. Rezultatem jest oś ruchu z precyzją na poziomie mikrometra, pozbawiona dryftu spowodowanego zużyciem i zapewniająca stałą wydajność przez miliony cykli.
Ponieważ nie ma tarcia, efekt stick-slip – częsta przyczyna drgań w tradycyjnych stopniach – nie występuje nawet przy ekstremalnie niskich prędkościach. W przypadku zastosowań w zakresie wyrównywania, kontroli i obróbki skrawaniem rozwiązanie to zwiększa przepustowość, jednocześnie zmniejszając ilość odpadów i poprawek.

Dane techniczne

Aplikacja

Typowe zastosowania: obejmują one wyrównywanie płytek półprzewodnikowych, fotonikę i wyrównywanie włókien, pozycjonowanie głowicy do obróbki laserowej, ogniskowanie w osi Z w mikroskopach, precyzyjne platformy pomiarowe, kontrola masek i pozycjonowanie urządzeń medycznych.
Ten siłownik cewki drgającej jest również stosowany w systemach autofokusa w kamerach przemysłowych i do precyzyjnego sterowania zaworami w instrumentach analitycznych. Dzięki temu siłownikowi można skorzystać z każdego zadania związanego z ruchem o krótkim skoku, wymagającego rozdzielczości submikronowej i możliwości utrzymywania stabilnego położenia.

Często zadawane pytania

P: W jaki sposób osiąga się rozdzielczość 0,5um?
Odp.: Rozdzielczość wynika z połączenia beztarciowego silnika cewki drgającej i enkodera liniowego o wysokiej rozdzielczości w zamkniętej pętli serwa. Enkoder mierzy rzeczywiste położenie obciążenia, a płynna siła wyjściowa silnika umożliwia jednoetapowe ruchy o wartości 0,5um.

P: Jakie czynniki wpływają na powtarzalność?
Odp.: Powtarzalność zależy głównie od jakości enkodera, dostrojenia serwomechanizmu i stabilności termicznej. Bezdotykowa konstrukcja eliminuje tarcie i zużycie, dzięki czemu powtarzalność mechaniczna pozostaje niezmienna przez cały okres eksploatacji silnika. Jedyną zalecaną rutynową konserwacją jest regularna kalibracja enkodera.

P: Czy silnik może utrzymać pozycję po włączeniu zasilania?
O: Tak. W zamkniętej pętli serwo może utrzymać cewkę w dowolnym położeniu w obrębie skoku, równoważąc siłę z obciążeniem. W większości zastosowań statycznych hamulec trzymający nie jest wymagany.

P: Czy mogę otrzymać opcję niestandardowego skoku lub enkodera?
O: Tak. SUPT MOTION może regulować skok, siłę, napięcie i typ enkodera. Skontaktuj się z nami, podając docelowy poziom dokładności i profil ruchu, aby otrzymać ofertę dostosowaną do indywidualnych potrzeb.