Precyzyjny liniowy silnik cewkowy o wysokiej reakcji do mikroruchów w półprzewodnikach

Miejsce pochodzenia Chiny, Suzhou
Nazwa handlowa SUPT MOTION
Orzecznictwo ISO9001,CE,3C
Numer modelu Seria VCAB
Minimalne zamówienie 1 szt
Cena $110-$160
Szczegóły pakowania Dostosowane opakowanie itp.
Czas dostawy <i>1-5pcs ,5 days .</i> <b>1-5 sztuk, 5 dni.</b> <i>&gt;20pcs ,To be negotiated</i> <b>&gt;20szt. Do
Zasady płatności T/T
Możliwość Supply do negocjacji

Skontaktuj się ze mną, aby otrzymać bezpłatne próbki i kupony.

WhatsApp:0086 18588475571

czat: 0086 18588475571

Skype'a: sales10@aixton.com

W razie jakichkolwiek wątpliwości zapewniamy całodobową pomoc online.

x
Szczegóły Produktu
Gwarancja 3 miesiące-1 rok Model produktu VCAB0262-0112-00A
Waga (g) 285 Siła szczytowa (N) 262
Całkowity skok (mm) 11.2 Maksymalne napięcie (V) 35.1
Aplikacja Produkt automatyczny Dokładność pozycjonowania Wysoki
Typ produktu liniowy silnik cewki drgającej Komutacja Szczotka
Siła ciągła (N) 111N Typ Kompaktowy
Zostaw wiadomość
opis produktu

Opis produktu:

W procesach produkcji półprzewodników, takich jak przetwarzanie płytek, litografia, inspekcja i pakowanie, kontrola mikro-pozycjonowania wymaga bardzo wysokiej dokładności, szybkiej reakcji,i długoterminowej stabilnościLiniowe silniki z napędem głosowym, wyposażone w napęd bezpośredni i doskonałą wydajność dynamiczną, stały się idealnym rozwiązaniem uruchamiania do sterowania mikrodrukiem w sprzęcie półprzewodnikowym.

Liniowe silniki dźwiękowe generują siłę napędową bezpośrednio przez siłę elektromagnetyczną, umożliwiając beztargowe,ruch liniowy bez reakcji z rozdzielczością pozycjonowania na poziomie mikrometru lub nawet nanometruW porównaniu z tradycyjnymi mechanizmami z wiodącą śrubą lub serwo napędzanymi, silniki z linijną cewką głosową zapewniają lepszą dokładność pozycjonowania i powtarzalność w krótkich zakresie uderzeń.Są one szczególnie odpowiednie do wyrównania płyt, ostrość optyczna, kontrola kontaktu sondy i precyzyjne ustawienia pozycji.

W zastosowaniach skanujących z dużą prędkością i dynamicznej kompensacji, silniki z linii głosowej zapewniają wysokie przyspieszenie i odpowiedź wysokiej częstotliwości,umożliwiające precyzyjne śledzenie poleceń sterowania i skuteczną rekompensatę błędów systemu i zakłóceń środowiskowychIch płynny, nisko wibrujący ruch pomaga zminimalizować zakłócenia procesu w produkcji mikrostruktur i zapewnia stabilną wydajność procesu.

Charakterystyka:

  • Rozdzielczość przemieszczenia na poziomie submikronowym lub nanometrowym
  • Szybkość reakcji dynamicznej o dużej przepustowości
  • Wyjątkowa powtarzalność i długoterminowa stabilność
  • Zero reakcji, niskie wibracje i ruch bez cząstek
  • Kompatybilność z środowiskami czystych pomieszczeń zgodnie z normą ISO 4?? 5
  • Brak śrub ołowiowych, biegów lub reakcji
  • Brak histerezy w odpowiedzi na przemieszczenie
  • Wysoka przepustowość sterowania dla pozycji, prędkości i kontroli siły w pętli zamkniętej
  • Bardzo niskie wibracje i hałas akustyczny

Precyzyjny liniowy silnik cewkowy o wysokiej reakcji do mikroruchów w półprzewodnikach 0

Parametry produktu:

Model produktu Siła szczytowa
(N)
Ciągła siła
w temperaturze 25°C ((N)
Całkowity cios
(mm)
Maksymalne napięcie
(V)
Wsteczna stała EMF
(V/m/s)
Waga cewki
(g)
Średnica statora Węzeł końcowy wału
(mm)
VCAB0005-0039-00A 5 1.5 3 5.4 0.9 23 29.5 M2 ((Wydział zewnętrzny)
VCAB0005-0050-00A 5 2.2 3.9 14.5 3.1 27 31.5 M2,5 (w zewnętrznej części)
VCAB0013-0072-00A 13 4.2 7.2 26.6 5.72 16.2 26.2 M3 ((Wydział zewnętrzny)
VCAB0015-0062-00A 15 6.5 6.2 26.2 9.75 14.8 33 M3 ((Wydział zewnętrzny)
VCAB0015-0127-00A 15 4.9 12.7 21.5 4.1 12.5 30.5 Szybkość.8
VCAB0022-0098-00A 22 6.6 9.8 24.7 5.8 20 34.1 M3 ((Wydział zewnętrzny)
VCAB0022-0448-00A 22 11.4 44.8 14.3 4 52 48 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0032-0050-00A 32 8.9 5 29.3 7.1 48 40 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0033-0099-00A 33 8 9.9 24.3 5.87 23.5 36 M3 ((Wydział zewnętrzny)
VCAB0033-0224-00A 33 13.5 22.4 26.7 6.8 69 58 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0035-0105-00A 35 15.6 10.5 11.9 5 91 50 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0044-0040-00A 44 16.3 4 18.3 8.9 46.5 53 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0044-0059-00A 44.1 17.7 5.9 14.3 8 43 46 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0044-0075-00A 44 13.7 7.5 16.8 7.6 38.6 31.1 M3 ((Wydział zewnętrzny)
VCAB0044-0249-00A 44 11.7 24.9 44.9 8.88 65.9 38.1 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0070-0149-00A 70 27.3 14.9 26.9 17.7 79 43 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0087-0062-00A 87 21.67 6.2 34.5 12.7 45.2 43.1 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0087-0563-00A 87 17.5 56.3 63.4 8.1 177 72 wał ¥10
VCAB0088-0191-00A 88.5 23.2 19.1 29.9 8 162 50.8 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0105-0164-00A 105 35.4 16.1 20.1 11.5 150 60.4 M3 ((Wewnętrzna)
VCAB0113-0089-00A 113 35 8.9 31 17.5 125 73 wiarę 8
VCAB0262-0112-00A 262 111 11.2 35.1 41 285 71 wał ¥10
VCAB0262-0249-00A 262 112 24.9 28.2 26 785 66 wiarę 8
VCAB0294-0498-00A 294 56.8 49.8 114 24.5 685 93 wał ¥10
VCAB0436-0187-00A 436 147.6 18.7 40.7 40.7 648 80.4 wał ¥10
VCAB0436-0250-00A 436 167 25 31.6 37.2 775 78.4 wał ¥10
VCAB0445-0300-00A 445 185 30 33 35 920 76.2 wał ¥10

 

Zastosowanie:

  1. Etapy wyrównania i pozycjonowania płytek
  2. Skupienie litografii i kompensowanie wysokości
  3. Oś Z stacji sondy i sterowanie kontaktem
  4. Wykonujące urządzenia do szybkiego skanowania AOI / AVI
  5. Mikrozbiór do wiązania i pakowania
  6. Precyzyjne systemy podawania i mikrodozingowania

Precyzyjny liniowy silnik cewkowy o wysokiej reakcji do mikroruchów w półprzewodnikach 1